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激光诱导和化学镀铜制备太赫兹偏振器和滤波器
引用本文:王文涛,刘建军,李向军,韩昊,洪治.激光诱导和化学镀铜制备太赫兹偏振器和滤波器[J].光学学报,2012,32(12):1231002.
作者姓名:王文涛  刘建军  李向军  韩昊  洪治
作者单位:王文涛:中国计量学院太赫兹技术与应用研究所, 浙江 杭州 310018
刘建军:中国计量学院太赫兹技术与应用研究所, 浙江 杭州 310018
李向军:中国计量学院太赫兹技术与应用研究所, 浙江 杭州 310018
韩昊:中国计量学院太赫兹技术与应用研究所, 浙江 杭州 310018
洪治:中国计量学院太赫兹技术与应用研究所, 浙江 杭州 310018
基金项目:国家自然科学基金(60977066)资助课题。
摘    要:利用激光诱导与化学镀铜的方法在聚酰亚胺薄膜上制备了太赫兹线栅偏振器和带阻滤波器,用太赫兹时域光谱系统对所制备的器件进行了测试。测试结果表明,该方法制备的太赫兹线栅偏振器在0.2~1.5 THz范围内的消光比优于20 dB,耶路撒冷十字结构带阻滤波器的3个中心频率分别为0.41、1.07、1.47 THz。实验结果与时域有限差分法的仿真结果基本相符。研究表明激光诱导与化学镀铜是一种简单灵活且能有效地制备太赫兹器件的方法。

关 键 词:光学制造  太赫兹  激光诱导与化学镀  线栅偏振器  带阻滤波器
收稿时间:2012/6/13

Direct Fabrication of Terahertz Polarizer and Filter by Laser Inducing and Non-Electrolytic Plating with Copper
Abstract:Terahertz wire-grid polarizer and terahertz band-stop filter have been fabricated on polyimide substrate by laser inducing and non-electrolytic plating with copper. The performance of the fabricated devices is measured using a terahertz time-domain spectroscopy. Test results demonstrate that the high extinction ratio of the fabricated polarizer is better than 20 dB from 0.2 THz to 1.5 THz, and three different central frequencies are 0.41, 1.07, 1.47 THz for the Jerusalem cross band-stop filter. The experimental results are in good agreement with finite-difference time-domain simulations. The results demonstrate that the laser induced and non-electrolytic plating with copper is a simple, effective, and flexible way to fabricate terahertz devices on polyimide substrates.
Keywords:optical fabrication  terahertz  laser inducing and non-electrolytic plating  wire-grid polarizer  band-stop filter
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