| 扫描光刻系统的分段迭代学习控制策略 |
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| 引用本文： | 陈兴林,姜晓明,王岩. 扫描光刻系统的分段迭代学习控制策略[J]. 哈尔滨工业大学学报, 2013, 45(7): 18-23 |
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| 作者姓名： | 陈兴林 姜晓明 王岩 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学 航天学院,150001 哈尔滨 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(61174037)； 国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207). |
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| 摘 要： | 结合扫描光刻系统的曝光特点,提出一种分段迭代学习控制方法.该方法继承了非因果迭代学习律充分学习的特点.为改善动态跟踪性能,在加速过程段对前一迭代周期的误差信息进行非因果学习,以保证其沿迭代轴的快速收敛性.为克服非因果迭代学习律盲目学习的缺点,在匀速曝光段不对误差信息进行非因果学习,以保证系统的曝光性能不发生恶化,并改善系统在时间轴的瞬态性能.此外,对该方法的收敛性进行了分析和证明,并结合实例,验证了方法的有效性.
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| 关 键 词： | 迭代学习控制 扫描曝光 分段学习 非因果学习 |
Segmented iterative learning control strategy for wafer scanner systems |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | iterative learning control scan and exposure segmented learning non-causal learning |
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