| 退火温度对纳米TiO2薄膜结构和亲水性的影响 |
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| 引用本文： | 刘彭义,叶勤,唐振方,孙汪典,叶海,赵丽特,张丽丽.退火温度对纳米TiO2薄膜结构和亲水性的影响[J].真空科学与技术学报,2004,24(2):133-136. |
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| 作者姓名： | 刘彭义 叶勤 唐振方 孙汪典 叶海 赵丽特 张丽丽 |
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| 作者单位： | 暨南大学物理系,广州,510632 |
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| 基金项目： | 广东省自然科学基金，广东省广州市科技攻关项目，暨南大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射方法制备出纳米二氧化钛(TiO2)薄膜,研究了不同退火温度对薄膜微观结构和超亲水性的影响.结果表明:退火温度升高,晶粒长大,孔隙率减小;常温制备300 ℃以下退火的TiO2薄膜为无定形结构,亲水性差;400 ℃～650 ℃退火的薄膜为锐钛矿结构,表现出超亲水性;800 ℃退火薄膜为金红石结构,亲水性有所下降.
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| 关 键 词： | 磁控溅射 TiO2薄膜 退火 晶相转变 亲水性 |
| 文章编号： | 1672-7126(2004)02-0133-04 |
| 修稿时间： | 2003年9月20日 |
Influence of Annealing Temperature on characteristics and Hydrophilicity of Nano-TiO2 Thin Films |
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| Liu Pengyi ,Ye Qin,Tang Zhenfang,Sun Wangdian,Ye Hai,Zhao Lite and Zhang Lili.Influence of Annealing Temperature on characteristics and Hydrophilicity of Nano-TiO2 Thin Films[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2004,24(2):133-136. |
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| Authors: | Liu Pengyi Ye Qin Tang Zhenfang Sun Wangdian Ye Hai Zhao Lite and Zhang Lili |
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| Affiliation: | Liu Pengyi *,Ye Qin,Tang Zhenfang,Sun Wangdian,Ye Hai,Zhao Lite and Zhang Lili |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Magnetron sputtering TiO 2 thin films Anneal Crystal phase transfer Hydrophilicity |
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