| 激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究 |
| |
| 引用本文： | 王锐,李道火,黄永攀,罗丽明,浦坦.激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究[J].中国粉体技术,2003,9(4):35-38. |
| |
| 作者姓名： | 王锐 李道火 黄永攀 罗丽明 浦坦 |
| |
| 作者单位： | 1. 中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽,合肥,230031;山东道钬纳米技术研究院,山东,济南,250100
2. 中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽,合肥,230031 |
| |
| 摘 要： | 研究了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工作原理,提出了减少游离硅的措施,利用双光束激发制备得到了超微的、非晶纳米氮化硅粉体。实验证明,纳米氮化硅粉体具有很多奇异物理性能和光谱特性。
|
| 关 键 词： | 激光诱导化学气相沉积法 氮化硅 纳米粉体 红外吸收光谱 拉曼光谱 |
| 文章编号： | 1008-5548(2003)04-0035-04 |
| 修稿时间： | 2002年12月31 |
Research on Preparation of Silicon Nitride Nano-powders with Laser Induced Chemical Vapor Deposition and Optical Characteristics of Powders |
| |
| Abstract: | The general principles of LICVD(laser induced chemical vapor deposition)are investigated and the measures to reducing dissociated Si are put forward.By applying double beam optical stimulation,the ultrafine and amorphous Si3N4 nano powders which possesses many peculiar physical chrarcteristics as well as optical features are obtained. |
| |
| Keywords: | laser induced chemical vapor deposition silicon nitride nano-powders infrared absorption spectra Raman spectra |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
