| 力电耦合MEMS器件非线性行为的模拟 |
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| 引用本文： | 孙振新,黄庆安,李伟华. 力电耦合MEMS器件非线性行为的模拟[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 48-50 |
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| 作者姓名： | 孙振新 黄庆安 李伟华 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096 |
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| 摘 要： | 大多数MEMS器件(如梁、膜等)工作时本身是非线性的，因此很难用刚体假设的方法等效为集总参数的宏模型。模态分析法提供了一种有效的方法。本文以静电驱动两端固定梁为例，介绍了存在机电耦合时的公式，然后利用硬件描述语言VHDL-AMS对其描述，建立相应的动态宏模型，给出了模拟和分析结果，并与利用Coventor软件分析的结果进行了比较。
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| 关 键 词： | MEMS器件 微电子机械系统 非线性行为 力电耦合 VHDL-AMS 动态宏模型 模态分析法 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0048-03 |
| 修稿时间： | 2003-05-15 |
Modeling and simulation of nonlinear behavior of mechanical-electrostatic coupled MEMS devices |
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