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| 10万象素a-Si TFT有源矩阵的优化技术 | |
| 引用本文： | 徐重阳,符晖,邹雪城,张少强.10万象素a-Si TFT有源矩阵的优化技术[J].液晶与显示,1995(1). |
| 作者姓名： | 徐重阳 符晖 邹雪城 张少强 |
| 作者单位： | 华中理工大学团体电子学系，华中理工大学团体电子学系，华中理工大学团体电子学系，华中理工大学团体电子学系 武汉，430074，武汉，430074，武汉，430074，武汉，430074 |
| 摘 要： | 本文研究了3英寸372×276象素a—Si TFT有源矩阵的优化设计理论,讨论了材料物理参数和器件结构参数对器件性能的影响,并对其制作工艺进行了系统研究。 |
| 关 键 词： | a—SiTFT有源矩阵 优化设计 制作工艺 |
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