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| 微流控芯片模芯的精密铣磨加工及其微注塑成形技术 | |
| 引用本文： | 鲁艳军,刘博,陈福民,郭明荣,唐恒,罗和喜.微流控芯片模芯的精密铣磨加工及其微注塑成形技术[J].机械工程学报,2022,58(1):244-255. |
| 作者姓名： | 鲁艳军 刘博 陈福民 郭明荣 唐恒 罗和喜 |
| 作者单位： | 深圳大学机电与控制工程学院 深圳518060 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(51805334)；;广东省公益研究与能力建设专项(2017A010102003)； |
| 摘 要： | 为降低微流控芯片的大批量生产制造成本,保证微尺度流道结构的表面质量和形状精度,提出采用超硬立方氮化硼(CBN)磨棒在模具钢模芯表面精密铣磨加工制造出形状精度可控的微凸起阵列结构,然后利用微注塑成形技术高效成形制造出具有微凹槽阵列结构的聚合物微流控芯片.分析了铣磨加工工艺参数对微结构模芯表面质量的影响,通过试验和数学统计... |
| 关 键 词： | 微流控芯片 铣磨加工 微注塑成形 表面粗糙度 形状精度 |
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