| 新型非蒸散消气剂的激活温度和吸气性能的实验研究 |
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| 引用本文： | 陈旭,张德胜,齐京,陈丕瑾,朱秀珍. 新型非蒸散消气剂的激活温度和吸气性能的实验研究[J]. 真空电子技术, 2003, 0(5): 46-48 |
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| 作者姓名： | 陈旭 张德胜 齐京 陈丕瑾 朱秀珍 |
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| 作者单位： | 清华大学,电子工程系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 对主要成分为Zr和Co的新型非蒸散消气剂进行了活化温度及吸气性能的实验研究。实验表明其活化温度为200—250℃，对N2，H2等活性气体有很好的抽速，对惰性气体He等无抽速。
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| 关 键 词： | 新型非蒸散消气剂 激活温度 吸气性能 |
| 文章编号： | 1002-8935(2003)05-0046-03 |
| 修稿时间： | 2003-04-10 |
Experimental Study on the Activation Temperature and Sorption Characteristics of the New Nonevaporable Getter Material |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | New nonevaporable getter Activation temperature Sorption characteristics |
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