| 衬底和氧分压对Cu掺杂ZnO薄膜的结构及光学特性的影响 |
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| 引用本文： | 陶亚明,马书懿,陈海霞,孟军霞,侯丽莉,贾迎飞,尚小荣.衬底和氧分压对Cu掺杂ZnO薄膜的结构及光学特性的影响[J].功能材料,2010,41(10). |
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| 作者姓名： | 陶亚明 马书懿 陈海霞 孟军霞 侯丽莉 贾迎飞 尚小荣 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，甘肃省自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射方法在玻璃和硅(100)衬底上制备了不同氧分压的Cu掺杂ZnO(ZnO∶Cu)薄膜。利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和光致荧光发光(PL)等表征技术,研究了衬底和氧分压对ZnO∶Cu薄膜的结晶性能和光学特性的影响。结果显示薄膜沉积在Si衬底上比玻璃衬底上有更好c轴择优取向,两种衬底上沉积的薄膜有相同的氧分压结晶规律,且在氧氩比为10∶10时,薄膜c轴取向同时达到最好。通过对光致发光的研究表明,在低氧环境时玻璃衬底较容易制得好的发光薄膜,可在富氧环境时Si衬底上制得的薄膜发光性能较好。
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| 关 键 词： | ZnO:Cu薄膜 磁控溅射 衬底 氧分压 光学特性 |
Influence of substrate and oxygen partial pressures on structural and optical properties of Cu-doped ZnO films |
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| TAO Ya-ming,MA Shu-yi,CHEN Hai-xia,MENG Jun-xia,HOU Li-li,JIA Ying-fei,SHANG Xiao-rong.Influence of substrate and oxygen partial pressures on structural and optical properties of Cu-doped ZnO films[J].Journal of Functional Materials,2010,41(10). |
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| Authors: | TAO Ya-ming MA Shu-yi CHEN Hai-xia MENG Jun-xia HOU Li-li JIA Ying-fei SHANG Xiao-rong |
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