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| Ba0.5Sr0.5TiO3铁电薄膜的微弧氧化制备工艺 | |
| 引用本文： | 王敏,郭会勇,李文芳,张果戈.Ba0.5Sr0.5TiO3铁电薄膜的微弧氧化制备工艺[J].材料热处理学报,2013,34(7). |
| 作者姓名： | 王敏 郭会勇 李文芳 张果戈 |
| 作者单位： | 1. 广东技术师范学院机电学院,广东广州,510665 2. 平高集团有限公司,河南平顶山,467001 3. 华南理工大学材料科学与工程学院,广东广州,510640 |
| 基金项目： | 中央高校基本科研业务费专项资金资助 |
| 摘 要： | 用分析纯Ba(OH)2·8H2O和Sr(OH)2·8H2O配制电解液(浓度各为0.2 mol/L),采用微弧氧化技术在工业纯钛板(99.5％)表面原位生成BaxSr(1-x)TiO3铁电薄膜.对不同电流密度、电流频率和反应时间条件下获得的薄膜进行表征,研究了各因素对薄膜物相构成、表面形貌和表面粗糙度的影响.结果表明:所得薄膜均主要由四方相Ba0.5Sr0.5TiO3构成；电流密度为20 A/dm2、电流频率为100 Hz、反应时间为10 min时,所得薄膜最平整、致密、表面粗糙度值最小,且微弧氧化孔洞分布最均匀,测得该薄膜在1 kHz条件下的介电常数为411.3. |
| 关 键 词： | 铁电薄膜 Ba0.5Sr0.5TiO3 微弧氧化 表面形貌 |
Preparation of Ba0.5Sr0.5TiO3 film by microarc oxidation |
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| Abstract: | |
| Keywords: | ferroelectric thin film Ba0 5Sr0 5TiO3 microarc oxidation surface morphology |
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