不锈钢半球面的超精加工技术及其检测方法

应用光学冷加工的工艺方法和检测技术,制造了用于气体静压球面轴承的高精度不锈铜半球面——凹球面球座(半径为62.77毫米)和凸球面球轴(半径为62.76毫米)。实测结果表明:凸凹半球的截面不圆度小于0.2微米,表面光洁度为▽14a(R_2<0.05微米),球座球轴的球面半径加工误差小于3微米。