| 激光热处理对类金刚石薄膜结构的影响 |
| |
| 引用本文： | 车晓舟,陈莲华,马洪涛,刘凡新.激光热处理对类金刚石薄膜结构的影响[J].真空科学与技术学报,2011,31(1):76-79. |
| |
| 作者姓名： | 车晓舟 陈莲华 马洪涛 刘凡新 |
| |
| 作者单位： | 1. 华南理工大学材料科学与工程学院,广州,510640
2. 东莞新科技术研究开发有限公,司,东莞,523087 |
| |
| 摘 要： | 用真空阴极过滤电弧法沉积了厚度为2 nm的类金刚石(DLC)薄膜,研究了激光加热退火时薄膜结构和表面粗糙度的变化,分析了激光加热功率对薄膜结构的影响。结果表明,当激光功率小于200 mW时,DLC薄膜的结构基本保持不变;激光功率增大到300 mW,薄膜中少量的sp3键转变为sp2键,但薄膜的表面形貌基本保持不变。随着激光功率增大到400mW,薄膜中sp3键向sp2键的转变量增大;当激光功率达到500 mW时,薄膜中大量的sp3键转变为sp2键,sp2六原子环含量迅速增大,薄膜表面粗糙度开始明显增大,出现凹凸不平的表面形貌。
|
| 关 键 词： | 真空阴极过滤电弧 类金刚石薄膜 退火 激光功率 结构 |
Laser Annealing of Diamond-Like Carbon Films |
| |
| Che Xiaozhou,Chen Lianhua,Ma Hongtao,Liu Fanxin.Laser Annealing of Diamond-Like Carbon Films[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2011,31(1):76-79. |
| |
| Authors: | Che Xiaozhou Chen Lianhua Ma Hongtao Liu Fanxin |
| |
| Affiliation: | 1.College of Materials Science & Engineering,South China Universityof Technology,Guangzhou 510640;2.SAE,Dongguan 523087,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
