| 陶瓷球研磨成型机理的研究 |
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| 引用本文： | 常敏,吕冰海,王志伟,楼飞燕,袁巨龙. 陶瓷球研磨成型机理的研究[J]. 机械工程师, 2003, 0(9): 47-50 |
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| 作者姓名： | 常敏 吕冰海 王志伟 楼飞燕 袁巨龙 |
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| 作者单位： | 浙江工业大学,机电学院,浙江,杭州,310014 |
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| 基金项目： | 浙江省青年科技人才培养专项资金项目(RC02066)，浙江省科技厅计划项目(2003C31057) |
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| 摘 要： | 讨论了陶瓷球的成球机理，分析了一种新的研磨加工方法，即采用三块能够独立选择的研磨盘。通过控制研磨盘的转速，调整自旋转角的大小，可在较大的范围内取值，同时对计算机仿真和实验的结果进行了对比。结果表明：该方法结合化学机械抛光(CMP)等先进的抛光工艺，能够有效地提高陶瓷球的加工效率和质量。
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| 关 键 词： | 陶瓷球 成球机理 去除效率 研磨轨迹 |
| 文章编号： | 1002-2333(2003)09-0047-04 |
| 修稿时间： | 2003-08-12 |
Study on the Furbishing Forming Principle of Ceramic Ball |
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