| 制备材料芯片的K分分形掩膜策略 |
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| 引用本文： | 冯兰,顾明,蔡英文.制备材料芯片的K分分形掩膜策略[J].高技术通讯,2004,14(6):39-42. |
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| 作者姓名： | 冯兰 顾明 蔡英文 |
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| 作者单位： | 上海交通大学材料科学与工程学院,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 ( 19975 0 67)，上海市纳米科技专项基金 (nm0 45 8)资助项目 |
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| 摘 要： | 研究了制备由K个水平(元素含量)的任意n种元素所组合的材料芯片的掩膜策略，即K分分形的掩膜策略，它不仅弥补了以往掩膜策略的缺陷，而且具有普遍适用性和更高的灵活性。
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| 关 键 词： | 材料芯片 分形 掩膜 组合合成 材料合成技术 |
Combinatorial Synthesis Strategy for the Combination of n Elements with K Levels |
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| Feng Lan,Gu Ming,Cai Yingwen.Combinatorial Synthesis Strategy for the Combination of n Elements with K Levels[J].High Technology Letters,2004,14(6):39-42. |
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| Authors: | Feng Lan Gu Ming Cai Yingwen |
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| Keywords: | Combinatorial synthesis Fractal Mask Materials chip |
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