| 硅衍射微透镜阵列的制作技术研究 |
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| 引用本文： | 赖建军,赵悦,柯才军,周宏,易新建,翁雪涛,熊平.硅衍射微透镜阵列的制作技术研究[J].半导体光电,2005,26(Z1):106-110,114. |
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| 作者姓名： | 赖建军 赵悦 柯才军 周宏 易新建 翁雪涛 熊平 |
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| 作者单位： | 1. 华中科技大学,光电子工程系,湖北,武汉,430074
2. 重庆光电技术研究所,重庆,400060 |
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| 摘 要： | 介绍了二元光学方法制作多台阶衍射微透镜的设计和工艺过程;分析了台阶侧壁倾斜对衍射效率的影响;提出了一种基于软刻蚀技术的复制和集成新工艺.实际制作了8台阶硅衍射微透镜阵列,利用新工艺复制了硅衍射透镜阵列.
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| 关 键 词： | 衍射微透镜 干法刻蚀 二元光学 软刻蚀 紫外模塑 衍射微透镜阵列 制作 技术研究 Array Diffractive Silicon 利用 新工艺 集成 复制 刻蚀技术 影响 衍射效率 台阶侧壁倾斜 分析 工艺过程 设计 二元光学方法 |
| 文章编号： | 1001-5868(2005)S-0106-05 |
| 修稿时间： | 2004年11月22日 |
Fabrication of Silicon Diffractive Microlens Array |
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| LAI Jian-jun,ZHAO Yue,KE Cai-jun,ZHOU Hong,YI Xin-jian,WENG Xue-tao,XIONG Ping.Fabrication of Silicon Diffractive Microlens Array[J].Semiconductor Optoelectronics,2005,26(Z1):106-110,114. |
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| Authors: | LAI Jian-jun ZHAO Yue KE Cai-jun ZHOU Hong YI Xin-jian WENG Xue-tao XIONG Ping |
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