| SF6气体传感器电气性能分析 |
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| 引用本文： | 杨全玖,张大伟,吕宗芳,赵书俊,吕运朋. SF6气体传感器电气性能分析[J]. 传感器与微系统, 2006, 25(7): 50-51,54 |
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| 作者姓名： | 杨全玖 张大伟 吕宗芳 赵书俊 吕运朋 |
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| 作者单位： | 郑州大学,物理工程学院,河南,郑州,450052 |
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| 摘 要： | 在负极性电场电晕放电过程中,当SF6气体进入到传感器内,捕获电场中的慢速电子生成负离子.SF6气体负离子与载气正离子复合成中性化合物,被载气带出传感器外,而使原有的基流减少.该基流的减少量与被测气体的体积分数成一定的比例关系.将变化的基流转为体积分数指示信号输出,从而达到检测SF6气体体积分数的要求.在待测气体中SF6含量不大于1200×10-6范围内,传感器分辨力以体积分数计不大于0.1×10-6,灵敏度不低于1.0μA/10-6.
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| 关 键 词： | SF6气体 电晕放电 分辨力 灵敏度 气体传感器 电气 性能分析 sensor performance analysis 灵敏度 分辨力 范围 含量 检测 信号输出 气体的体积分数 变化 比例关系 减少量 基流 中性化合物 合成 正离子 载气 |
| 文章编号： | 1000-9787（2006）07-0050-02 |
| 收稿时间： | 2006-05-31 |
| 修稿时间： | 2006-05-31 |
Electric performance analysis of SF6gas sensor |
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| YANG Quan-jiu,ZHANG Da-wei,L Zong-fang,ZHAO Shu-jun,L Yun-peng. Electric performance analysis of SF6gas sensor[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2006, 25(7): 50-51,54 |
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| Authors: | YANG Quan-jiu ZHANG Da-wei L Zong-fang ZHAO Shu-jun L Yun-peng |
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| Affiliation: | YANG Quan-jiu,ZHANG Da-wei,L(U) Zong-fang,ZHAO Shu-jun,L(U) Yun-peng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SF6 gas corona discharge resolution sensitivity |
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