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| 一种(105～10-8)Pa真空计校准装置的设计 | |
| 引用本文： | 卢耀文,吴端,王欢,杨传森,魏萌萌,梁明超,陈静,闫睿,陈俊儒.一种(105～10-8)Pa真空计校准装置的设计[J].真空科学与技术学报,2021(1):29-34. |
| 作者姓名： | 卢耀文 吴端 王欢 杨传森 魏萌萌 梁明超 陈静 闫睿 陈俊儒 |
| 摘 要： | 针对(105～10-8)Pa复合型真空计的一次性校准需求,设计出相应的校准装置.装置主要由校准室、真空测量模块、抽气与供气模块、标准气体流量计、烘烤模块等部分组成.设计的校准室为球形容器,通过串联分子泵组和离子泵抽气,在校准室中获得10-9 Pa量级的极限真空度.真空计的校准通过静态比较法、动态比较法及标准流量法实现,... |
| 关 键 词： | 复合型真空计 参考标准 校准 不确定度 |
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