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| 多线切割机砂浆控制系统研究 | |
| 引用本文： | 党兰焕,贺敬良,王学军,吴序堂. 多线切割机砂浆控制系统研究[J]. 制造业自动化, 2010, 32(6). DOI: 10.3969/j.issn.1009-0134.2010.06.23 |
| 作者姓名： | 党兰焕 贺敬良 王学军 吴序堂 |
| 作者单位： | 1. 西南石油大学,成都,610500 2. 北京信息科技大学机电工程学院,北京,100192 3. 西安交通大学机械工程学院,西安,710049 |
| 摘 要： | 多线切割机是近年来发展非常迅速的一种高效率切割设备,在半导体领域应用广泛,它通过驱动多圈绕制的金属钢线高速旋转,带动喷射在金属钢线上的砂浆对硅材料进行磨削切割,在多线切割机对硅片的切割过程中,砂浆必须保持一定的流量和温度,才能对硅料进行持续高效的切割,砂浆流量的变化会影响切割效率和切割质量,切割过程会产生热量,砂浆在循环过程中必须带走产生的热量,否则热量在砂浆中聚积,对硅片切割会产生不利甚至断线.研究了多线切割机砂浆控制系统,对硅片切割中砂浆流量控制方法进行研究,通过实验验证通过该砂浆控制系统能得到的稳定的流量,砂浆流量波动很小,很好地提高了硅片切割质量及切割成片率,工艺线使用效果良好. |
| 关 键 词： | 多线切割机 砂浆流量 PID控制 |
Multi-wire saw cutting slurry control system research |
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| DANG Lan-huan,HE Jing-liang,WANG Xue-jun,WU Xu-tang. Multi-wire saw cutting slurry control system research[J]. Manufacturing Automation, 2010, 32(6). DOI: 10.3969/j.issn.1009-0134.2010.06.23 | |
| Authors: | DANG Lan-huan HE Jing-liang WANG Xue-jun WU Xu-tang |
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