| 真空系统中CO的置换解吸及对质谱分析的影响 |
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| 引用本文： | 张彤,张晓兵,毛福明. 真空系统中CO的置换解吸及对质谱分析的影响[J]. 真空科学与技术学报, 1999, 19(4) |
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| 作者姓名： | 张彤 张晓兵 毛福明 |
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| 作者单位： | 东南大学电子工程系!南京210096 |
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| 摘 要： | 当样品气体引入真空系统后，原壁面吸附的气体将被引入气体快速地置换而解吸出来，从而造成真空室内气体组分严重失真于样品气体，这对静态进样的质谱分析尤为严重。极限真空为 １× １０－５ Ｐａ的不锈钢真空系统充入Ｈｅ，Ｎｅ或Ａｒ后，ＣＯ的解吸速度比未充气时提高８倍，Ｈ２和ＣＨ４的解吸速度更快。这种置换吸附和解吸作用有可能用于研究真空装置内某些吸附气体的快速除气，采用预充气法提高充气器件内气体的纯度和采用热封离法提高真空器件内的真空度等措施均基于这个原理。
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| 关 键 词： | 置换解吸 质谱分析 真空系统 |
CO Displacement Desorption in Vacuum and Its Influence on the Mass Spectroscopy |
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| Zhang Tong,Zhang Xiaobing,Mao Fuming. CO Displacement Desorption in Vacuum and Its Influence on the Mass Spectroscopy[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 1999, 19(4) |
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| Authors: | Zhang Tong Zhang Xiaobing Mao Fuming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Displacement desorption Mass spectrometer analysis Vacuum system |
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