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| 一种扭转谐振式MEMS电场传感器 | |
| 作者单位： | ;1.中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室;2.中国科学院大学 |
| 摘 要： | 提出了一种基于微机电系统(MEMS)的扭转谐振式电场传感器。该微型电场传感器的感应电极与屏蔽电极采用共面叉指结构,首次采用扭转谐振的工作方式,显著提高了微型电场传感器的灵敏度。介绍了传感器的工作原理、结构设计、有限元仿真及实验。实验结果表明:在0～50 kV/m电场范围内,该传感器的线性度为0. 14%,3个往返行程的总不确定度优于0. 43%。在增益电阻为100 MΩ的情况下,传感器灵敏度达到4. 55 mV/(kV/m),相对已有传感器灵敏度提高了1个数量级。 |
| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS) 电场传感器 扭转谐振 |
A MEMS-based electric field sensor with torsional resonance |
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