新型半填充微气相色谱柱芯片研究 |
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作者单位: | ;1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所;2.中国科学院大学 |
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摘 要: | 基于微机电系统(MEMS)技术设计制造了新型半填充微气相色谱柱(μGCC)芯片,芯片的微沟道内设计有排列整齐的椭圆微柱阵列。与现有半填充μGCC相比,新型μGCC的微沟道具有更大的表面积和更均匀的流速场分布,对芯片分离度和柱效的提高起着至关重要的作用。设计的芯片成功分离了重烃类混合气体组分和苯系物,理论塔板数最高可达到9 246 plates/m。
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关 键 词: | 微机电系统 半填充微气相色谱柱 椭圆微柱 分离度 柱效 |
Research on novel semi-packed micro gas chromatographic column chip |
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