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| 基于电容桥的差动电容检测方法 | |
| 作者单位： | ;1.北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院 |
| 摘 要： | 数字闭环石英挠性加速度计系统主要由石英挠性加速度计表头和数字检测电路组成,其极限精度取决于差动电容检测电路的灵敏度。针对数字闭环石英挠性加速度计前端差动电容检测的需求,给出了一种基于电容桥的差动电容检测方法。利用数字电路产生高频方波进行单载波调制,同时利用交流电容桥结构对载波信号进行处理,并设计后续的差分放大电路对载波信号进一步处理最终实现对微弱差动电容变化的检测。经过实验验证,检测电路对电容的检测最终实现最小分辨率约为1. 8 f F(对应加速度变化1μgn)。 |
| 关 键 词： | 差动电容检测 电容桥 检测电路 数字闭环 石英挠性加速度计 |
Differential capacitance detection method based on capacitance bridge |
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| Keywords: | |
