粒状多晶硅生产概况

阐述了粒状多晶硅生产的基本原理，生产工艺以及美国MEMC Pasadena公司的粒状多晶硅的生产情况，并就粒状多晶硅生产过程中的质量控制措施，以粒状多晶硅为原料生产直拉单晶硅所具有的优势以及粒状多晶硅的发展前景提出了一些看法。