一种结构改进了的硅基微静电马达 |
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引用本文: | 孙曦庆,李志坚,费圭甫,刘理天.一种结构改进了的硅基微静电马达[J].半导体学报,1993,14(7):453-455. |
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作者姓名: | 孙曦庆 李志坚 费圭甫 刘理天 |
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作者单位: | 清华大学微电子学研究所,清华大学微电子学研究所,清华大学微电子学研究所,清华大学微电子学研究所 北京 100084,北京 100084,北京 100084,北京 100084 |
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摘 要: | 本文介绍一种结构改进了的硅基微静电马达。通过在微马达转子下面集成光伏器件实现了对马达转速的片内检测,这对于实现转速自动控制和制作各种传感器有重大意义。利用复合膜牺牲层腐蚀技术制成了一种曲颈状轴承,该轴承能够大大减小马达转动时的摩擦阻力矩。微静电马达转子直径分100和120μm两种,膜厚约2μm,定子与转子的空气间隙为2μm。初始测量结果表明该微马达有良好的性能,具有实用化前景。
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关 键 词: | 微电机 硅基 微型涡轮机 集成电路 |
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