| 新型非制冷高速高灵敏度红外探测器的研制 |
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| 引用本文： | 刘铮,李兰,邹德恕,杨道虹,徐晨,沈光地.新型非制冷高速高灵敏度红外探测器的研制[J].红外与激光工程,2003,32(5):452-455. |
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| 作者姓名： | 刘铮 李兰 邹德恕 杨道虹 徐晨 沈光地 |
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| 作者单位： | 北京工业大学,电子信息与控制工程学院,北京市光电子技术实验室,北京,100022 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(69976004和60276033)，北京市自然科学基金资助项目(4982005)，北京市教委科技发展项目(KM200310005009) |
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| 摘 要： | 介绍了一种新型非制冷高速高灵敏度硅基电容式红外探测器的工作原理,描述了探测器的设计思想及制作工艺。该探测器采用密封于微气腔的特殊气体吸收红外辐射以改变探测器微电容的原理来进行红外探测,制作工艺采用微机械加工技术。对样品的测试表明这种红外探测器能探测红外信号。
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| 关 键 词： | 微机械 红外探测器 非制冷 红外吸收气体 |
| 文章编号： | 1007-2276(2003)05-0452-04 |
| 收稿时间： | 2002/12/9 |
| 修稿时间： | 2002年12月9日 |
Novel uncooled infrared detector with high speed and high sensitivity |
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| Abstract: | A novel uncooled silicon capacitive infrared detector with high speed and sensitivity is introduced.The design idea and fabrication processes of this infrared detector are described in detail. The detector operates on infrared absorption by special gas sealed in a micro-cavity, which results in its micro-capacitance change. All fabrication processes are realized by MEMS technology. The experimental results indicate that the prototype samples have good sense of infrared signal. |
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| Keywords: | Micromachine Infrared detector Uncool Infrared sensitive gas |
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