| 退火对Al掺杂ZnO薄膜材料结构性能和表面形貌的影响研究 |
| |
| 引用本文： | 宋立媛, 唐利斌, 姬荣斌, 陈雪梅, 李雄军. 退火对Al掺杂ZnO薄膜材料结构性能和表面形貌的影响研究[J]. 红外技术, 2010, 32(11): 659-662. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2010.11.010 |
| |
| 作者姓名： | 宋立媛 唐利斌 姬荣斌 陈雪梅 李雄军 |
| |
| 摘 要： | 采用无机盐溶胶-凝胶方法在载玻片衬底上制备了ZnO:Al薄膜,利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)研究了退火温度和退火时间对ZnO:Al薄膜结构和形貌的影响.结果显示,ZnO:Al薄膜为六角纤锌矿晶体结构,具有很高的沿C轴的(002)择优取向,随退火温度的升高或退火时间的适当延长,衍射峰的半高宽减小、强度增强,晶粒尺寸增大.结果表明,通过适当控制退火温度和退火时间可以得到高质量的ZnO:Al薄膜.
|
| 关 键 词： | 退火 ZnO:Al薄膜 X-射线衍射(XRD) 原子力显微镜(AFM) |
Effect of Annealing on Structural Properties and surface morphologies of ZnO:Al Thin Films |
| |
| SONG Li-yuan, TANG Li-bin, JI Rong-bin, CHEN Xue-mei, LI Xiong-jun. Effect of Annealing on Structural Properties and surface morphologies of ZnO:Al Thin Films[J]. Infrared Technology , 2010, 32(11): 659-662. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2010.11.010 |
| |
| Authors: | SONG Li-yuan TANG Li-bin JI Rong-bin CHEN Xue-mei LI Xiong-jun |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《红外技术》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《红外技术》下载全文 |
|
