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| 20nm以后的集成电路技术 | |
| 作者姓名： | 王震宇 |
| 作者单位： | 上海交通大学微电子学院 |
| 摘 要： | 集成电路进入20nm以后,FinFET,EUV,450mm晶圆,3DIC等新技术不断涌现。同时为了与这些先进技术相匹配,芯片设计人员也要改变原有理念,用DFP,DFM,DFA,和DFC的新概念指引设计。 |
| 关 键 词： | 20nm 集成电路 |
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