用LIGA技术制作微马达构件 |
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引用本文: | 梁静秋,姚劲松.用LIGA技术制作微马达构件[J].北京同步辐射装置年报,1998(1):220-223. |
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作者姓名: | 梁静秋 姚劲松 |
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作者单位: | 中国科学院长春光学精密机械研究所,长春130022 |
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摘 要: | 阐述了LIGA技术的组成及特点。对LIGA工艺掩膜、X射线光刻、电铸及塑铸等进行了朱理分析。用一次成型法制作了以聚酰亚胺为衬基、以Au为吸收体的X射线光刻掩膜。简单介绍了这种掩膜的制作工艺过程,并用这种掩膜在北京电子对撞机国家实验室进行了同步辐射X射线光刻,得到了深度为500μm,深宽比达8.3的PMMA材料的微型电磁马达联轴器结构。给出掩膜和X射线光刻照片。同时,对Au、Ni等金属材料的厚膜电铸进行了工艺研究。
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关 键 词: | 微马达 LIGA技术 光刻 掩膜 电铸 同步辐射 X射线 |
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