| 高温超导薄膜微细图形制备工艺的研究进展 |
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| 引用本文： | 张黄莉,赵高扬,彭海军,刘晓梅.高温超导薄膜微细图形制备工艺的研究进展[J].材料导报,2008,22(5):96-99. |
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| 作者姓名： | 张黄莉 赵高扬 彭海军 刘晓梅 |
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| 作者单位： | 西安理工大学材料科学与工程学院,西安,710048 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，陕西省西安市科技计划 |
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| 摘 要： | 高温超导薄膜具有良好的物理性能,其微细图形在微电子器件中有非常广泛的应用.概述了高温超导薄膜微细图形的制备工艺及研究进展,重点介绍了高温超导薄膜微细图形制备方法中的光刻法、改性工艺、耐熔微掩膜制备法和Sol-gel法与化学修饰法相结合的基本原理、工艺特点及最新研究进展.首次把Sol-gel法与化学修饰法相结合制备薄膜的微细图形的工艺用于高温超导薄膜微细图形的制备中.
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| 关 键 词： | 高温超导薄膜 微细图形 溶胶-凝胶法 化学修饰 |
Research Development of Preparation Technology of Fine-patterning of High Tc Superconducting Films |
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| ZHANG Huangli,ZHAO Gaoyang,PENG Haijun,LIU Xiaomei.Research Development of Preparation Technology of Fine-patterning of High Tc Superconducting Films[J].Materials Review,2008,22(5):96-99. |
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| Authors: | ZHANG Huangli ZHAO Gaoyang PENG Haijun LIU Xiaomei |
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