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| 双材料微悬臂非致冷红外探测成像系统 | |
| 引用本文： | 郭方敏,陆卫.双材料微悬臂非致冷红外探测成像系统[J].红外,2004,306(11):14-20. |
| 作者姓名： | 郭方敏 陆卫 |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083 |
| 摘 要： | 双材料微悬臂非致冷红外探测成像系统的关键元件是一种新型红外探测器，它采用表面微机械与常规集成电路的新颖组合，其工艺与标准集成电路工艺100％兼容。通过双材料微悬臂热敏单元，控制电容板位置耦合到低噪声MOS放大器输入端读出信号，也可通过光学读出。其噪声等效温度(NEDT)接近理论极限，能够满足高灵敏度、轻重量和低成本的装备需求。 |
| 关 键 词： | 红外探测器 集成电路工艺 理论极限 MOS 放大器 输入端 成像系统 双材料 光学 等效 |
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