| MgxZn1-xO薄膜的结构特性研究 |
| |
| 引用本文： | 张锡健,马洪磊,王卿璞,马瑾. MgxZn1-xO薄膜的结构特性研究[J]. 无机材料学报, 2006, 21(1): 235-238 |
| |
| 作者姓名： | 张锡健 马洪磊 王卿璞 马瑾 |
| |
| 作者单位： | 山东大学物理与微电子学院,济南,250100 |
| |
| 基金项目： | 高等学校博士学科点专项科研项目 |
| |
| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法在80℃衬底温度下制备了MgxZn1-xO（x=0．23）薄膜，用X射线衍射（XRD）、高分辨透射电镜（HRTEM）、喇曼（Raman）光谱和原子力显微镜（AFM）研究了薄膜的结构特性．XRD和HRTEM分析结果表明MgxZn1-xO薄膜为单相六角纤锌矿结构，且具有沿c轴的择优取向，晶格常数与ZnO晶体的近似相等．Raman光谱不仅揭示MgxZn1-xO薄膜具有六角纤锌矿结构，而且也表明MgxZn1-xO薄膜的结晶质量比在相同条件下制备的ZnO薄膜好．AFM图像则显示出MgxZn1-xO薄膜为多晶结构．
|
| 关 键 词： | 射频磁控溅射 结构特性 |
| 文章编号： | 1000-324X（2006）01-0235-04 |
| 收稿时间： | 2005-01-05 |
| 修稿时间： | 2005-01-052005-02-23 |
Structure Properties of MgxZn1-xO Films |
| |
| ZHANG Xi-Jian,MA Hong-Lei,WANG Qing-Pu,MA Jin. Structure Properties of MgxZn1-xO Films[J]. Journal of Inorganic Materials, 2006, 21(1): 235-238 |
| |
| Authors: | ZHANG Xi-Jian MA Hong-Lei WANG Qing-Pu MA Jin |
| |
| Affiliation: | School of Physics and Microelectronics, Shandong University, Jinan 250100, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | MgxZn1-xO |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《无机材料学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《无机材料学报》下载全文 |
|
