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| 激光用于LED制造 | |
| 引用本文： | 尹悦. 激光用于LED制造[J]. 光机电信息, 2011, 28(1): 1-5 |
| 作者姓名： | 尹悦 |
| 摘 要： | 激光在如今的LED革命中正变得越来越重要,成为提高LED的发光效率和降低制造成本的必要工具.准分子激光器提供了独特的大面积均匀照明,而且非常适合用于将LED外延片从蓝宝石基底分离的激光剥离技术.本文将讨论准分子激光剥离技术用于制造垂直型LED,以及该技术如何应用于氮化镓基LED和氮化铝基LED的生产.另外,对于刻划和切... |
| 关 键 词： | LED外延片 准分子激光器 制造成本 二极管泵浦固体激光器 剥离技术 氮化镓 发光效率 均匀照明 |
Laser Application to LED Manufacturing |
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| Abstract: | |
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