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| CZ硅中金属杂质的起源 | |
| 引用本文： | 赵谢群.CZ硅中金属杂质的起源[J].稀有金属,1996(3). |
| 作者姓名： | 赵谢群 |
| 摘 要： | ＣＺ硅中金属杂质的起源为促进晶体净化技术的发展，日本三菱材料公司的科研人员研究了直拉单晶硅中金属杂质的来源。实验计算了从不同杂质来源混入熔体中的金属杂质的质量，并计算了熔硅与硅单晶中杂质的浓度；为了证实其计算结果，实验分析了单晶生长后剩余熔体样品。比... |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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