纳米金属颗粒—绝缘体膜制备的研究 |
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引用本文: | 赵子强,韦伦存.纳米金属颗粒—绝缘体膜制备的研究[J].功能材料,1996,27(6):534-535. |
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作者姓名: | 赵子强 韦伦存 |
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摘 要: | 本文介绍了一台利用磁控溅射产生金属团簇,同时蒸发绝缘介质得到金属颗粒-绝缘体包埋团簇的设备,并利用该设备成功地制备出了Cu:CaF2和Ti:CaF2等金属颗粒膜。该设备适应性广,可产生几乎所有固体金属和半导体团簇。从而可以得到众多组合的功能膜。包埋在绝缘体中的团簇大小在10nm-70nm之间,为多晶结构;基质CaF2也为多晶。
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关 键 词: | 包埋团簇 晶体结构 金属粒 薄膜 |
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