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用热水杀菌的超过滤装置

作者姓名：	徐京生

摘要：	旭化成工业公司开发了适于LSI用超纯水制备用的、可以热水杀菌的超过滤单元组件,并开始销售。该组件使用聚砜中空纤维膜材料,能耐90℃的热水,所以可除去微
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