电泳沉积法制备锶铁氧体厚膜 |
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引用本文: | 王鹏,李军科,彭斌,王渊朝.电泳沉积法制备锶铁氧体厚膜[J].材料导报,2014(4):11-14,18. |
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作者姓名: | 王鹏 李军科 彭斌 王渊朝 |
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作者单位: | 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室; |
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基金项目: | 国防预研项目(51312060403);教育部支撑计划(62501036015) |
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摘 要: | 通过表面活性剂十二烷基苯磺酸(DBSA)包覆锶铁氧体,在1-丁醇中制备了稳定的悬浮液并成功电泳沉积锶铁氧体厚膜。从理论和实验上研究了沉积量及膜厚与电场强度、电泳时间和电极距离等的关系。结果表明电泳法能够制备质量优异的锶铁氧体厚膜,但沉积条件对厚膜有重要影响。烧结温度为1000℃时可获得磁性能良好的厚膜,其比饱和磁化强度为45A·m2/kg,剩磁比为0.556,矫顽力为4840Oe。经过分步沉积膜厚可达40μm左右。利用该方法制备的膜可用于设计带宽较宽的非互易微波铁氧体器件。
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关 键 词: | 锶铁氧体薄膜 Zeta电位 电泳沉积 微波铁氧体器件 |
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