4Cr13不锈钢表面镀TiN薄膜组织结构及性能的研究 |
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引用本文: | 张焱,高原,吴炜钦,王成磊,庞泽鹏,程敏楠.4Cr13不锈钢表面镀TiN薄膜组织结构及性能的研究[J].材料导报,2014(4):84-87. |
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作者姓名: | 张焱 高原 吴炜钦 王成磊 庞泽鹏 程敏楠 |
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作者单位: | 桂林电子科技大学材料科学与工程学院; |
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基金项目: | 国家自然科学基金(51264007);国家自然科学基金青年基金(51201043);广西自然科学基金重点项目(2010GXNSFD013008);桂林电子科技大学-桂林电器科学研究院研究生联合培养基地专项经费资助(20121225-03-Z;20121225-10-Z) |
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摘 要: | 采用多弧离子镀技术在4Cr13不锈钢上沉积TiN薄膜,在其他参数不变的条件下,研究不同弧电流下薄膜的组织、结构及性能。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪和往复式摩擦磨损仪分别对薄膜进行表面形貌观察,物相分析,以及表面硬度、结合力、耐磨性检测。实验结果表明:弧电流对薄膜的表面形貌有明显的影响,随着弧电流的增大,薄膜表面的液滴数目和尺寸逐步增大;薄膜的相结构主要由TiN相组成,在(111)面有较强的择优取向,且随着弧电流的增大,衍射峰强度略有增加;随着弧电流的增大,薄膜的硬度先增大后减小,硬度值最大为2897HV;随着弧电流的增大,薄膜的结合力先增大后减小,当弧电流为105A时,薄膜的结合力最大,为75N;随着弧电流的增大,薄膜的摩擦系数先减小后增大,当弧电流为105A时,薄膜的耐磨性最好。
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关 键 词: | 弧电流 TiN薄膜 不锈钢 结合力 耐磨性 |
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