动态可逆光电显微镜瞄准技术

以往介绍的动态光电显微镜瞄准技术，通常是指刻线单向运动时和固定狭缝的重复瞄准方法。而本介绍的是指刻线在双向运动中可逆的重复瞄准技术。章对这种高精度的线纹瞄准装置结构，电路特点及瞄准准确度作了介绍。该装置在实际应用中，获得动态可逆瞄准准确度为0.07μm。