| 微齿轮加工工艺研究 |
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| 引用本文： | 赵新安 苏毅. 微齿轮加工工艺研究[J]. 应用科学学报, 1993, 11(4): 360-365 |
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| 作者姓名： | 赵新安 苏毅 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所 上海材料研究所 |
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| 摘 要： | 微机械加工技术是在IC平面工艺结合牺牲层腐蚀工艺基础上发展和形成的.在八十年代中应用了这种准三维加工技术,出现了尺寸在几十到几百微米的微型传感器.从而,传感器的性能和成品率得到提高,而成本下降.同时,为微电子机械集成奠定了一定的基础.尤其是1988年美国加里弗尼亚大学采用这种工艺成功地制成了直径仅为头发丝粗细的硅静电马达,从此得到了世界各国科学家的高度重视和大力发展.
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| 关 键 词： | 微齿轮 微机械加工 加工工艺 齿轮 |
INVESTIGATION ON PREPARATION OF SUB-MILLIMETER POLY-SILICON GEAR |
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| ZHAO XINAN. INVESTIGATION ON PREPARATION OF SUB-MILLIMETER POLY-SILICON GEAR[J]. Journal of Applied Sciences, 1993, 11(4): 360-365 |
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| Authors: | ZHAO XINAN |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-gear micro-machining technology plasma etching I0 planar technology |
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