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| 光栅测量技术在分步重复精缩机上的应用 | |
| 作者姓名： | 赵琨 |
| 摘 要： | 前言利用光栅测量技术进行机械位移测量,在国内外早已获得了广泛的应用。近年来,由于激光干涉超精度伺服刻线机的出现,使光栅刻线精度产生了飞跃,又因莫尔条纹细分技术的迅速发展,使得莫尔条纹测量法和激光干涉测量法达到了互相媲美的程度。从某种意义上讲,莫尔条纹测量 |
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