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| 用激光散斑相关方法实时测量表面粗糙度 | |
| 引用本文： | 郑月明,王策,凌德洪.用激光散斑相关方法实时测量表面粗糙度[J].光学学报,1985(3). |
| 作者姓名： | 郑月明 王策 凌德洪 |
| 作者单位： | 苏州大学激光研究室 (郑月明，王策)，苏州大学激光研究室(凌德洪) |
| 摘 要： | 本文提出一种实时测量表面粗糙度的结构简单、光路调节方便的实验系统。用双棱镜产生的两束不同方向的平面波同时照射粗糙表面,从散射光场的相关度得到表面粗糙度。结果表明,选择较小的棱镜角和入射角,可使粗糙度的测量范围达1μm～40μm;实验结果与泰勒雪夫-5型粗糙度检查仪的测试值符合得较好。 |
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