| 基于改进设计故障模式集成的PECVD优化设计 |
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| 引用本文： | 吴晓松,褚学宁,程辉. 基于改进设计故障模式集成的PECVD优化设计[J]. 机械设计与研究, 2013, 29(3): 48-52. DOI: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a3098 |
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| 作者姓名： | 吴晓松 褚学宁 程辉 |
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| 作者单位： | 上海交通大学机械与动力学院; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，高等学校博士学科点专项科研基金资助课题，上海市科技创新行动计划资助项目 |
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| 摘 要： | 设计故障模式及后果分析(DFMEA)能够在设计阶段充分考虑故障模式对产品功能的影响,从而提高产品设计的可靠度与安全性。但现有DFMEA的研究和应用缺少对多重条件约束的考量。基于此提出了优先理想矩阵与DFMEA集成的模型,将性能、成本、时间及其改进的余地运用到FMEA的严重性评价中。并且将此方法应用到等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)的设计中,提出了PECVD优化设计的流程和DFMEA计算模板。结果表明,此方法能够有效的进行PECVD故障原因与影响分析,及其系统优化设计。
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| 关 键 词： | 产品设计 DFMEA 优先理想矩阵 设计方法 RPN |
Application Study of PECVD Design Based on Improving DFMEA |
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| Wu Xiao-song , Chu Xue-ning , Cheng Hui. Application Study of PECVD Design Based on Improving DFMEA[J]. Machine Design and Research, 2013, 29(3): 48-52. DOI: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a3098 |
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| Authors: | Wu Xiao-song Chu Xue-ning Cheng Hui |
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| Affiliation: | (School of Mechanical Engineering,Shanghai Jiaotong University,Shanghai 200240,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | product design DFMEA priority-ideal matrix design method RPN |
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