13～14 nm区类Ni氙跃迁X光激光器研究

1 引言目前正积极研究13~14nm区真空紫外激光振荡的可能性，因为在该波长区发展了反射率达到60%的多层膜反射镜的制造方法1~3]。该区较强激光可用于微光刻、X射线显微术和生物技术等。最近几年正在探讨建立真空紫外激光器的新实验途径。例如，研究了在脉宽0.9~10 ns、能量~0.7 J的Nd∶YAG激光抽运的所谓气体-喷团靶内1~22 nm区的强辐射4]。这种“光火花等离子体”源早在70年代初讨论过5]。目前它是为了在1~5nm区产生激光辐射的、形成不压缩、不消蚀等离子体的有前途的装置6]。P.V.Nickles等人提出了混合抽运源：毛细管放电形成类Ne…