| 纳米晶SnO_2气敏薄膜的制备与表征 |
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| 引用本文： | 索辉,向思清,朱玉梅,阮圣平,张彤,刘冰冰,徐宝琨,王立军.纳米晶SnO_2气敏薄膜的制备与表征[J].半导体学报,2000,21(8):774-777. |
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| 作者姓名： | 索辉 向思清 朱玉梅 阮圣平 张彤 刘冰冰 徐宝琨 王立军 |
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| 作者单位： | 吉林大学电子工程系集成光电子国家重点联合实验室吉林大学分区!长春130023，吉林大学超硬材料国家重点实验室，长春130023，吉林大学电子工程系集成光电子国家重点联合实验室吉林大学分区!长春130023，吉林大学电子工程系集成光电子国家重点联合实验室吉林大学分区!长春130023，吉 |
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| 摘 要： | 以 Sn( OH) 4 水合胶体为原料 ,采用溶胶 -凝胶方法在 Si片上制备了 Sn O2 纳米晶薄膜 ,利用差热、热重、X光衍射以及原子力显微镜对薄膜的合成以及特性进行了分析 ,结果表明 :在60 0℃条件下烧结结晶的纳米晶薄膜表面平整 ,具有金红石结构 ,平均粒度在 1 0 nm左右 .以该薄膜为敏感体采用平面工艺制成的 FET式气敏元件在常温下对乙醇蒸汽具有非常好的选择性 .
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| 关 键 词： | SnO_2 纳米晶 气敏特性 场效应管 |
Preparation and Characterization of Nanocrystalline SnO_2 Thin Film |
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| SUO Hui ,XIANG Si\|qing ,ZHU Yu\|mei ,RUAN Sheng\|ping ,ZHANG Tong ,LIU Bing\|bing ,XU Bao\|kun and WANG Li\|Jun.Preparation and Characterization of Nanocrystalline SnO_2 Thin Film[J].Chinese Journal of Semiconductors,2000,21(8):774-777. |
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| Authors: | SUO Hui XIANG Si\|qing ZHU Yu\|mei RUAN Sheng\|ping ZHANG Tong LIU Bing\|bing XU Bao\|kun and WANG Li\|Jun |
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| Affiliation: | SUO Hui 1,2,XIANG Si\|qing 1,ZHU Yu\|mei 1,RUAN Sheng\|ping 1,ZHANG Tong 1,LIU Bing\|bing 2,XU Bao\|kun 1 and WANG Li\|Jun 3 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SnO_2 nanocrystalline gas sensitivity field effect transistor |
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