| 介观压阻效应电磁驱动微机械陀螺仪的设计与测试 |
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| 引用本文： | 王瑞荣,杜康,石云波,刘俊.介观压阻效应电磁驱动微机械陀螺仪的设计与测试[J].传感技术学报,2010,23(12):1700-1703. |
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| 作者姓名： | 王瑞荣 杜康 石云波 刘俊 |
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| 作者单位： | 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助(50675212); 重点实验室基金资助(9140C1204021008) |
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| 摘 要： | 将共振隧穿二极管具有的介观压阻效应与哥氏效应结合应用于陀螺的设计中,提出了一种新型的采用回折型正交梁的陀螺结构。结合现在的工艺水平,设计了合理的加工工艺方案,并进行了加工与封装。通过对封装后的陀螺进行驱动方向测试,得到了固有频率的范围;检测方向上利用振动台对陀螺灵敏度进行了测试,得到在1kHz和4kHz时的测试灵敏度分别为7.51mV/gn、100.74mV/gn。
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| 关 键 词： | 介观压阻效应 微机械陀螺 驱动测试 检测测试 |
The Design and Testing of Mesopiezoresistive Effect Electromagnetic Driven Micromachine Gyroscope |
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| WANG Ruirong,DU Kang,SHI Yunbo,LIU Jun.The Design and Testing of Mesopiezoresistive Effect Electromagnetic Driven Micromachine Gyroscope[J].Journal of Transduction Technology,2010,23(12):1700-1703. |
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| Authors: | WANG Ruirong DU Kang SHI Yunbo LIU Jun |
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| Affiliation: | WANG Ruirong,DU Kang,SHI Yunbo,LIU Jun(Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement(North University of China),Ministry of Education,Taiyuan 030051,China) |
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| Abstract: | The mesopiezoresistive effect of Resonant Tunneling Diodes(RTD) and Coriollis effect are both used in the design of gyroscope,and a novel gyroscope structure with orthogonal beam is proposed.The feasible fabrication process is designed according to present process technology,and the gyroscope is fabricated and packaged.The range of gyroscope natural frequency is gained by the driven direction testing of fabricated gyroscope.The sensitivity of gyroscope is tested in detection direction by using the vibration... |
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| Keywords: | meso-piezoresistive effect micromachined gyroscope driven testing detection testing |
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