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| 可见光二维小孔矢量衍射分析 | |
| 作者姓名： | 许嘉俊 邢廷文 |
| 摘 要： | 现代精密光学系统的发展,对光学元件的加工和检测提出了非常严格的要求,达到纳米量级.相移式点衍射干涉仪是一种应用在纳米精度检测中的常用干涉仪,其参考波前由直径在几百纳米量级的小孔衍射产生,其衍射波前与理想波面的误差,决定了干涉仪的检测精度.基于有限元方法,计算了聚焦入射情况下,不同直径小孔的衍射波面.分析了聚焦斑发生对准... |
| 关 键 词： | 物理光学 光学检测 点衍射干涉仪 矢量衍射 波前分析 |
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