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一种极高靶功率密度的新型脉冲磁控管溅射技术

引用本文：	蓉佳.一种极高靶功率密度的新型脉冲磁控管溅射技术[J].等离子体应用技术快报,2000(5):12-13.

作者姓名：	蓉佳

摘要：
关键词：	靶功率密度脉冲磁控管溅射技术等离子体薄膜
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