| HEMT微加速度计的结构优化设计 |
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| 引用本文： | 赵晓霞,梁庭. HEMT微加速度计的结构优化设计[J]. 传感器与微系统, 2013, 32(7) |
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| 作者姓名： | 赵晓霞 梁庭 |
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| 作者单位： | 中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西太原,030051 |
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| 摘 要： | 为满足HEMT微加速度计的高结构灵敏度和输出灵敏度的要求,对微加速度计的弹性结构进行了优化设计,得到一种全新的微加速度计折梁结构.利用ANSYS有限元分析软件对加速度计原结构和新结构进行仿真,通过计算和分析比较,结果表明:优化后加速度计结构合理,满足设计目标,新结构的结构灵敏度提高了1个数量级,输出灵敏度比之前增大了3倍.
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| 关 键 词： | 微加速度计 结构优化 ANSYS有限元分析 |
Structure optimization design of HEMT micro-accelerometer |
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| ZHAO Xiao-xia , LIANG Ting. Structure optimization design of HEMT micro-accelerometer[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2013, 32(7) |
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| Authors: | ZHAO Xiao-xia LIANG Ting |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-accelerometer structure optimization ANSYS finite element analysis |
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