| 基于薄膜IPD工艺的N77频段多零点带通滤波器设计 |
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| 引用本文： | 王浩威,郭瑜,傅肃磊,王为标,吴浩东.基于薄膜IPD工艺的N77频段多零点带通滤波器设计[J].电子元件与材料,2022,41(5):526-530+538. |
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| 作者姓名： | 王浩威 郭瑜 傅肃磊 王为标 吴浩东 |
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| 作者单位： | 江南大学 物联网工程学院, 江苏 无锡 214122,无锡市好达电子股份有限公司, 江苏 无锡 214124,南京大学 物理学院, 江苏 南京 210093 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 针对微波滤波器对高性能和低成本的应用需求，将薄膜集成无源器件(Integrated Passive Device, IPD)工艺与印刷电路板(Printed Circuit Board, PCB)工艺相结合，设计了一款含有三个传输零点的宽带集总带通滤波器。为提升器件Q值，降低带内损耗并缩小器件尺寸，将滤波器谐振回路的电感以三维电感的形式设置于金属层较厚的PCB基板中，而其他电路结构则被集成在高阻硅基片上，通过倒装焊植球的方式(Flip-Chip Ball Grid Array, FBGA)将高阻硅基芯片键合到基板上。为验证理论的有效性，加工制备了一款N77频段的带通滤波器，其不包括外部管脚的整体尺寸为2.2 mm×3.0 mm, 1 dB带宽为918 MHz,带测试板的实测插损为-2.58 dB。测试结果与预期的仿真结果达成一致。
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| 关 键 词： | 集总滤波器 IPD工艺 Q值 插入损耗 传输零点 |
Design of multi-transmission zeros filter using thin film IPD technology for N77 band |
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| WANG Haowei,GUO Yu,FU Sulei,WANG Weibiao,WU Haodong.Design of multi-transmission zeros filter using thin film IPD technology for N77 band[J].Electronic Components & Materials,2022,41(5):526-530+538. |
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| Authors: | WANG Haowei GUO Yu FU Sulei WANG Weibiao WU Haodong |
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