LMBE法异质外延β-Ga_2O_3薄膜及其紫外和发光特性的研究 |
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作者姓名: | 郭进进 刘爱华 满宝元 刘枚 姜守振 侯娟 孔德敏 |
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作者单位: | 山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所,济南,250014 |
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基金项目: | 国家自然科学基金,高等教育博士点基金专项研究,山东省博士后基金创新项目 |
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摘 要: | 采用激光分子束外延法在蓝宝石衬底上异质外延β-Ga2O3薄膜。研究了氧分压对薄膜表面结构和结晶程度的影响,结果表明β-Ga2O3薄膜的均方根粗糙度和X射线衍射谱峰的半高宽随着氧分压的减小呈现先减小后增大的趋势。并对氧分压为10-2 Pa条件下的薄膜进行了光致发光谱、紫外透射谱、禁带宽度变化和拉曼谱的研究,结果显示β-Ga2O3薄膜的带隙随氧分压的减小而不断增大,β-Ga2O3薄膜具有蓝光发光和深紫外高透射特性,是用于光电器件特别是紫外特性氧敏传感器的最佳材料之一。
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关 键 词: | β-GaO薄膜 氧分压 紫外透射 光致发光 禁带宽度 |
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